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激光干涉仪

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MCV-500+SD-500

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MCV-500+SD-500除具有MCV-500位移测量功能外，还具有矢量体积（空间精度）测量功能（矢量测量方法与仪器，专利6519043号2003年2月11日）。它用长方形平面镜做靶标，通过对机床四根对角线的分轴不仅测量和分析可以得到机床的十二项误差：三项垂直度误差、三项直线位移误差、六项直线度误差。通过对这十二项误差的补偿来提高机床的空间精度，软件可根据不同的控制器自动生成相应的补偿程序进行补偿，也可通过软件对零件加工程序G代码自动修正，提高零件加工精度。

检测功能：

1、三维矢量法分轴步进空间体对角线检测

通过分轴步进对三维空间四根对角线测量可同时得到：

X、Y、Z 轴的3 个定位精度误差；

X、Y、Z 轴的水平、垂直方向的6 个直线度误差；

X、Y、Z 轴之间的3 个垂直度误差；

测量范围：(3m×2m×1m）空间；

2、二维矢量法分轴步进平面体对角线检测

通过分轴步进对二维平面两根对角线测量可同时得到：

X、Y 轴的2 个定位精度误差；

X、Y 轴的水平、垂直方向的4 个直线度误差；

X、Y 轴之间的1 个垂直度误差；

测量范围：(3m×2m）空间；

3、购买SD-500 后，还可以实现传统体对角线检测

可以通过XYZ 三轴联动直接检测三维空间的四根体对角线精度；

标准依据：ISO230-6；

技术参数

MCV-500基本技术参数	激光频率稳定性	±0.05ppm
	氦氖激光管	2级
	激光输出功率	＜1mW
	激光管寿命	40000小时
	空气温度传感器精度	±0.1 ℃
	空气压力传感器精度	±1.1mmHg
	材料温度传感器精度	±0.1 ℃
	环境温度（湿度）	5-38 ℃（0-95％）
	电源电压（电源频率）	90-265V（50-60Hz）
线性位移测量	测量距离	≥15m（30m,60m,100m可选）
	分辨率	1nm
	精度	±0.5ppm
	速度	5m/秒
向量法体对角线检测	分辨率	1nm
	精度	±0.5ppm
	测量范围	3m×2m×1m
	速度	4m /秒
	可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差

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