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激光干涉仪

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MCV-500+SP-500

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MCV-500+SP-500除了具有MCV-500位移测量功能外，还具有动态测量功能和激光非接触式主轴回动测量功能ISO230-7。此组合系统可用来进行抛光表面如球体的非接触式维良位移测量。将激光系统固定于床台上100MM的聚焦镜可将激光光束聚集于球体表面，旋转主轴，激光系统与球体表面或主轴误差欲动间的距离变化可被测得。与一般技术比较，激光测量方法的优点如下： 1，高准确度及分辨率； 2，较大的间隔距离； 3，容易安装及操作； 4，无须笨重的精密测试器几定期检验； 5，节省成本及时间。

功能选型：ISO230-7 回转轴线的精度检验

MCV-500+SP-500除了具有MCV-500位移测量功能外，还具有动态测量功能和激光非接触式主轴回动测量功能ISO230-7。

技术参数

MCV-500基本技术参数	激光频率稳定性	±0.05ppm
	氦氖激光管	2级
	激光输出功率	＜1mW
	激光管寿命	40000小时
	空气温度传感器精度	±0.1 ℃
	空气压力传感器精度	±1.1mmHg
	材料温度传感器精度	±0.1 ℃
	环境温度（湿度）	5-38 ℃（0-95％）
	电源电压（电源频率）	90-265V（50-60Hz）
线性位移测量	测量距离	≥15m（30m,60m,100m可选）
	分辨率	1nm
	精度	±0.5ppm
	速度	4m/秒
主轴状态检测	分辨率	1nm
	精度	±0.5ppm
	数据采样速率	1～1000个数/秒
	移动速度	5m/秒

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