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MCV-2002双光束系列激光多普勒干涉仪

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Optodyne MCV-2002直线位移、角偏(俯仰角、偏摆角)、直线度(水平直线度、上下直线度)、平面度测量系统 针对CNC工具机、CMM (三次元量床)及其它精密量测机器及平台校验。角度、真直度与平面度量测可以自动连续量测。采用的双光束设计,提供快速量测机台平面度及机器轴直线与角度误差量测。 Optodyne公司之机器校验系统采用专利之 Laser DooplerDisplacement Meter (LDDMTM)技术,整套系统非常简洁,提供简单方便的保管与运输方式。简单的安装程序可节省整体机器的校验时间,特别的是只需少量的投资,可进行多轴量测,省时省钱。 MCV-2002 双光束激光设计提供使用者简单、在单一仪器能简单操作直线和角度量测的能力,如同二个干涉仪一体,当其中一道光束监控角度资料时,另一道光束可监控直线定位情形。使用WindowsTM软件可于任何桌上型或笔记型计算机上执行,操作接口十分友善,可撷取量测资料并分析资料,分析后的数据可由屏幕显示或以表格或图形打印出来。

 

主要特点与功能:

Δ无三脚架及干涉镜、结构简单、重量轻

Δ安装方便、对光方便

Δ空气压力、空气温度、材料温度自动补偿

Δ激光频率正确度、测长精度经NIST验证

Δ直线位移与角偏测量数据的同步采集

Δ自动数据采集

Δ角偏、直线度测量可采用数据动态采集

Δ长导轨直线度测量空气紊流影响小

Δ支持NMTBA 、VDI 、 ISO及GB标准


主要应用:

Δ平板平面度的测量

Δ二导轨平行度测量

Δ长导轨直线度(上下直线度、水平直线度)的测量

Δ数控机床和三坐标测量机及X-Y平台的直线位移的测量和补偿

Δ数控机床和三坐标测量机及X-Y平台的角偏(俯仰角、偏摆角)、直线度(上下直线度、水平直线度)的测量


技术参数


激光频率稳定性

±0.05ppm 

移动速度

1.8m/

工作环境温度

38

工作环境海拔高度

03000m

工作环境相对湿度

095%

空气温度传感器精度

±0.1

材料温度传感器精度

±0.1

空气压力传感器精度

±1.1mmHg

电源电压 

90265VAC 

电源频率 

5060 

直线位移测量

测量分辨率

1nm


测量精度

±0.5ppm


测量距离

≥10m(30m,60m可选)

角偏(俯仰角、偏摆角)测量

测量分辨率

0.2 


测量精度

±0.2+0.2 


测量距离

≥5m(15m,30m可选)


测量范围

±10 

直线度(上下、水平)测量

测量分辨率

0.01μm  


测量精度

±0.2+0.01μm  


测量距离

≥5m(15m,30m可选)


测量范围

±1000μm  

垂直度检测

分辨率

0.2


垂直度测量精度



垂直度测量范围

≥5m(15m,30m可选)

平面度及大工件直线度检测

测量分辨率

2\4\6英寸桥板:0.05\0.10\0.15μm   


测量精度

2\4\6英寸:±0.2+ 0.05\0.10/0.15μm


测量距离

≥15m (30m,60m可选)

平行度检测

测量分辨率

1nm


测量精度

±1ppm


测量距离

≥5m(15m,30m可选)


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