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MCV-5004激光多普勒干涉仪

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  • 产品详情

1. MCV-5004激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上LB-500圆形和非圆形轨迹检测组件而组成MCV-5004激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5004主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)圆形和非圆形轨迹检测(非接触式球杆仪) 7)两导轨平行度测量

 

功能选型:激光多普勒干涉仪

  MCV-5004 激光多普勒干涉仪 的“双激光头分体设计”,专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能,是大型机床研发制造和大型机构科研计量。适合数控加工中心,数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。


技术参数


MCV-5004基本技术参数

激光频率稳定性

±0.05ppm


氦氖激光管

2


激光输出功率

1mW


激光管寿命

40000小时


空气温度传感器精度

±0.1 


空气压力传感器精度

±1.1mmHg


材料温度传感器精度

±0.1 


环境温度(湿度)

5-38 0-95%)


电源电压(电源频率)

90-265V50-60Hz

线性位移测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)


分辨率

1nm


精度

±0.5ppm


速度

5m /

主从动轴同步性检测

数据采样速率

1-1000个数/

角偏(俯仰角、偏摆角)

测量距离

≥30m60m,100m可选)


分辨率

0.2


精度

±0.2%±0.2 


测量范围

角度:±10 


速度

4m /

直线度测量

测量距离

≥30m60m,100m可选)


精度

±0.2%±0.01 微米


测量范围

±1000 微米


速度

4m/

向量法体对角线检测

分辨率

1nm


精度

±0.5ppm


测量范围

3m×2m×1m


速度

4m/


可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差

垂直度检测

SD附件

同上

两导轨平行度检测

距离

≥30m60m,100m可选)


分辨率

1nm


精度

±1ppm

圆形及非圆形轨迹测量

循圆测量半径

1-75毫米


循圆测量数据采样速率

1-1000个数/


循圆测量采样数

25000个数/

 


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