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激光干涉仪

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MCV-5004激光多普勒干涉仪

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1. MCV-5004激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上LB-500圆形和非圆形轨迹检测组件而组成MCV-5004激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5004主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)圆形和非圆形轨迹检测（非接触式球杆仪） 7)两导轨平行度测量

功能选型：激光多普勒干涉仪

MCV-5004 激光多普勒干涉仪的“双激光头分体设计”，专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能，是大型机床研发制造和大型机构科研计量。适合数控加工中心，数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。

技术参数

MCV-5004基本技术参数	激光频率稳定性		±0.05ppm
	氦氖激光管		2级
	激光输出功率		＜1mW
	激光管寿命		40000小时
	空气温度传感器精度		±0.1 ℃
	空气压力传感器精度		±1.1mmHg
	材料温度传感器精度		±0.1 ℃
	环境温度（湿度）		5-38 ℃（0-95％）
	电源电压（电源频率）		90-265V（50-60Hz）
线性位移测量	测量距离		≥30m（60m,100m可选）
	分辨率		1nm
	精度		±0.5ppm
	速度		5m /秒
主从动轴同步性检测	数据采样速率		1-1000个数/秒
角偏(俯仰角、偏摆角)	测量距离		≥30m（60m,100m可选）
	分辨率		0.2秒
	精度		±0.2%±0.2 秒
	测量范围		角度：±10 度
	速度		4m /秒
直线度测量	测量距离		≥30m（60m,100m可选）
	精度		±0.2%±0.01 微米
	测量范围		±1000 微米
	速度		4m/秒
向量法体对角线检测	分辨率		1nm
	精度		±0.5ppm
	测量范围		3m×2m×1m
	速度		4m/秒
	可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差
垂直度检测	用SD附件				同上
两导轨平行度检测		距离	≥30m（60m,100m可选）
		分辨率	1nm
		精度	±1ppm
圆形及非圆形轨迹测量		循圆测量半径		1-75毫米
		循圆测量数据采样速率		1-1000个数/秒
		循圆测量采样数		25000个数/圈

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