1. MCV-5004激光多普勒干涉仪 MCV-5002激光多普勒干涉仪加上LB-500圆形和非圆形轨迹检测组件而组成MCV-5004激光多普勒干涉仪。 2. MCV-5004主要测量功能 1) 直线位移测量 2) 大型龙门式机床主动轴从动轴直线位移同步测量功能 3) 分轴步进对角线测量。 4)角偏测量 5)直线度测量 6)圆形和非圆形轨迹检测(非接触式球杆仪) 7)两导轨平行度测量
功能选型:激光多普勒干涉仪
MCV-5004 激光多普勒干涉仪 的“双激光头分体设计”,专为大型五轴联动机床开发。针对性解决双驱动类、长行程类、五轴联动类检测。涵盖全部激光干涉仪功能,是大型机床研发制造和大型机构科研计量。适合数控加工中心,数控车床、线切割、精密运动平台、大型龙门机床。
技术参数
MCV-5004基本技术参数 | 激光频率稳定性 | ±0.05ppm | |||
氦氖激光管 | 2级 | ||||
激光输出功率 | <1mW | ||||
激光管寿命 | 40000小时 | ||||
空气温度传感器精度 | ±0.1 ℃ | ||||
空气压力传感器精度 | ±1.1mmHg | ||||
材料温度传感器精度 | ±0.1 ℃ | ||||
环境温度(湿度) | 5-38 ℃(0-95%) | ||||
电源电压(电源频率) | 90-265V(50-60Hz) | ||||
线性位移测量 | 测量距离 | ≥30m(60m,100m可选) | |||
分辨率 | 1nm | ||||
精度 | ±0.5ppm | ||||
速度 | 5m /秒 | ||||
主从动轴同步性检测 | 数据采样速率 | 1-1000个数/秒 | |||
角偏(俯仰角、偏摆角) | 测量距离 | ≥30m(60m,100m可选) | |||
分辨率 | 0.2秒 | ||||
精度 | ±0.2%±0.2 秒 | ||||
测量范围 | 角度:±10 度 | ||||
速度 | 4m /秒 | ||||
直线度测量 | 测量距离 | ≥30m(60m,100m可选) | |||
精度 | ±0.2%±0.01 微米 | ||||
测量范围 | ±1000 微米 | ||||
速度 | 4m/秒 | ||||
向量法体对角线检测 | 分辨率 | 1nm | |||
精度 | ±0.5ppm | ||||
测量范围 | 3m×2m×1m | ||||
速度 | 4m/秒 | ||||
可检测出机床3个定位精度、6个直线度、3个垂直度误差 | |||||
垂直度检测 | 用SD附件 | 同上 | |||
两导轨平行度检测 | 距离 | ≥30m(60m,100m可选) | |||
分辨率 | 1nm | ||||
精度 | ±1ppm | ||||
圆形及非圆形轨迹测量 | 循圆测量半径 | 1-75毫米 | |||
循圆测量数据采样速率 | 1-1000个数/秒 | ||||
循圆测量采样数 | 25000个数/圈 |